В России были созданы новые отечественные системы для плазмохимического осаждения и травления, которые позволяют производить интегральные микросхемы по 65-нм техпроцессу. Эта разработка выполнена научно-исследовательскими институтами НИИМЭ и НИИТМ, входящими в группу компаний «Элемент». В данной статье мы рассмотрим значимость этой технологии, проблемы, с которыми сталкивается российская микроэлектроника, и что это значит для будущего отрасли.

Создание отечественных кластерных систем

Российские исследователи смогли разработать уникальные системы для производства микросхем:

• Производственные возможности: Оборудование предназначено для работы с кремниевыми пластинами диаметром 200 и 300 мм.
• Ключевые игроки: Основную роль в проекте сыграл НИИМЭ, который обеспечил строительство чистых помещений и испытание технологических процессов.
• Сотрудничество: НИИТМ отвечал за конструирование оборудования и его тестирование.

Преимущества новой технологии

Новая система предлагает ряд преимуществ для отечественной микроэлектроники:

• Модульная архитектура: Позволяет легко внедрять новые процессы на уже существующих линиях.
• Использование в будущем: Оборудование совместимо как с действующими, так и с будущими производственными мощностями.
• Конкуренция на мировом уровне: Россия вошла в число пяти стран с такими технологиями.

Исторический контекст и текущее состояние

Важно отметить, что 65-нм техпроцесс был освоен мировыми лидерами еще в 2004 году. В то время как массовое производство таких чипов началось в 2006 году:

• «Intel Pentium 4», «Core» и «Core 2 Duo» — примеры успешного применения данной технологии.
• Современное применение: Технология все еще актуальна для производства контроллеров и датчиков.

Финансирование и вызовы для отрасли

Несмотря на успехи, российская микроэлектроника сталкивается с серьезными финансовыми проблемами:

• Недофинансирование программы: Сокращение финансирования приводит к отставанию более чем по 60 проектам к концу 2025 года.
• «В 2024 году было запланировано выделить 43,3 млрд рублей, но фактически лишь 23,7 млрд.»
• Перспективы финансирования: На следующие годы запланированы значительно меньшие объемы расходов.

Таким образом, создание новых технологий в России является важным шагом к достижению независимости в области микроэлектроники, однако необходима поддержка государственной программы для реализации всех запланированных инициатив.