Китайская компания Hefei Lumiverse Technology удивила мир, представив первый в своем роде настольный источник экстремального ультрафиолетового излучения (EUV), основанный на генерации высоких гармоник (HHG). В отличие от громоздких и дорогих литографических машин ASML, новое устройство работает на лабораторном столе и значительно дешевле. В данной статье мы рассмотрим ключевые аспекты этой технологии, ее актуальность и перспективы для китайской промышленности.

Технология генерации высоких гармоник

Работа нового сканера основана на использовании мощного фемтосекундного лазера:

• Принцип действия: Лазер направляется в инертный газ, где происходят нелинейные оптические эффекты, генерирующие когерентное EUV-излучение с длиной волны 13,5 нм.
• Настройка длины волны: Длина волны может варьироваться от 1 до 200 нм, что обеспечивает гибкость в применении технологии.

Важно отметить, что мощность излучения существенно ниже по сравнению с ASML — всего 1 мкВт против миллионов ватт.

Преимущества и недостатки нового устройства

Несмотря на свои ограничения, новый сканер имеет ряд преимуществ:

• Компактность: Устройство помещается на обычном лабораторном столе, что значительно упрощает его использование.
• Стоимость: Оно стоит в сотни раз дешевле аналогов от ASML, что делает технологию доступной для более широкого круга научных учреждений.

Однако у этого устройства есть и недостатки:

• Слабая мощность: Излучение генерируется с низкой эффективностью, что ограничивает его применение.
• Снижение производительности: Меньший диаметр пятна света на маске влияет на скорость работы сканера.

Перспективы использования в промышленности

Kитайский настольный EUV-сканер открывает новые горизонты для отечественной микроэлектроники:

• Независимость от санкций: Технология позволяет Китаю обходить ограничения на импорт современного оборудования.
• Исследования и эксперименты: 80% заказчиков уже являются учеными, заинтересованными в разработке транзисторов нанометрового масштаба.

«Разработка данного устройства демонстрирует стремительное сокращение технологического отставания Китая в области микроэлектроники».

Заключение

Kитайская инициатива по созданию настольного EUV-сканера — это важный шаг к инновациям в производстве полупроводников. В ближайшие годы ожидается повышение выходной мощности до 1 мВт, что откроет новые возможности для коммерческого использования. Следует внимательно следить за развитием этой технологии и ее влиянием на глобальный рынок микроэлектроники.